更新時間：2024-10-15
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Linetech質(zhì)量流量計廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
Linetech質(zhì)量流量計主要參數(shù)：
| 流量范圍 | 0.005-1000(slpm) |
| 響應(yīng)時間 | ≤2 |
| 精 度 | ≤1%或0.2% |
| 重 復(fù) 性 | ±0.25 |
| 輸出信號 | 0-5vdc或4-20mA |
| 供電電壓 | 15-28vdc |
| 溫度范圍 | 0-50℃ |
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